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氦质谱检漏仪

技术中心

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  • 密封微电子器件氦细检漏和氟油粗检漏的试验程序、操作及细节

  • 真空计校准方法概述

  • 静态膨胀校准低真空计方法

  • 动态流导法校准真空计的方法

  • 电离真空计

  • 标准压缩式真空计比对校准真空计的方法

  • 电离真空计的校准的注意事项

  • 电容薄膜真空计的校准注意事项

  • 真空计的适用压力范围

  • 真空计分类及工作原理

  • 真空计快速选型的思路

  • 大型真空容器的漏率控制与密封设计

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